国家/地区 日本(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 美国(4) 德国(2)
IPC部 C(5) D(4) B(3)
H(2)
IPC大类 C01(5) D01(4) B01(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(5) D01F(4) B01J(2)
IPC C01B031/02(5)
发明人 ENDO M(4) YANAGISAWA T(4) YANAGISAWA G C C(2)
公开年 2002(5)
申请年 2002(5) 
专利权人 GSI CREOS CO.(4) ENDO M(3)